現(xiàn)在的平面研磨機都是采用游離磨料,合適的研磨加工機器和研磨工藝的平面研磨,作為一種設備相對簡單,又仍然可以得到很高的形體精度和表面質量的方法,依舊是超精密加工最有效的手段之一了。那么超精密的平面研磨加工技術是研磨技術中的一種,可以獲得極高的零件表面質量,主要是可以獲得極高的面部精度 (平面度 平行度等)和無加工變質層的表面?,F(xiàn)代高科技產品的制造,如單晶硅片 硬磁盤基片 壓電陶瓷換能器等均需要采用超精密平面研磨加工技術。超精密平面研磨可以分為四個基礎組成成分----研磨盤研磨液磨粒和工件。研磨盤是精密研磨加工中的磨具,其面型精度對被加工件的面型精度影響非常···